二噁英的生成机理相当复杂，已知的生成途径包括：
1、污泥中本身含有微量的二噁英；
2、在燃烧过程中由含氯前体物生成二噁英。前体物包括聚氯乙烯、氯代苯、五氯苯酚等，在燃烧中前体物分子通过重排、自由基缩合、脱氯或其他分子反应等过程会生成二噁英；
3、当燃烧不充分时烟气中产生过多的未燃烬物质，并遇适量的触媒物质(主要为重金属，特别是铜等)及300～500℃的温度环境，在高温燃烧时已经被分解的二噁英将会重新生成。
针对二噁英生成机理采取相应的工艺技术，包括尾气处理工艺，能够有效地控制二噁英：
1、高温焚烧分解。二噁英在705℃以下时是相当稳定的，高于此温度即开始分解。采用焚烧炉对污泥进行“3T”焚烧，能够使污泥中绝大部分二噁英分解；
2、温度骤降抑制再合成。直接利用污泥焚烧产生的高温烟气进行污泥喷雾干燥处理的同时，也使烟气温度从800℃骤降至250℃以下，避开了300～500℃的温度环境，防止二噁英的合成；
3、飞灰收集。烟气中残余的二噁英是以蒸汽状态(气相)和吸附在飞灰颗粒上(固相)二种状态存在。由于飞灰的比表面积很大，对二噁英有很强的吸附作用，导致飞灰中二噁英浓度很高，通常占焚烧过程二噁英总排放量的70％左右。污泥喷雾干燥等组合工艺可以有效地混合、吸附烟气中的飞灰，从而吸附、捕集残余的二噁英，使其进入干化污泥中，被焚烧分解；
4、尾气清洁。活性炭吸附、布袋除尘以及湿法喷淋除尘等工艺，进一步净化了尾气中的粉尘及二噁英，实现清洁排放。
重金属污染物在焚烧过程中被蒸发。熔点高的重金属随温度的降低会凝结成粒状物而被捕集。熔点低的重金属会在飞灰表面催化作用下，形成熔点温度较高且较易凝结的氧化物或氯化物，特别是汞和镉大部分吸附在飞灰颗粒上而被捕集下来。
因此，针对烟气中二噁英控制所采取的工艺措施，以及必要时掺入重金属螯合剂，能有效控制重金属。
